微小气体质量流量计

微小气体质量流量计是一种用于测量气体流量的仪器，其原理是通过测量气体流经一个细小通道时的压力差来计算气体的流量。

这种流量计通常采用微机电系统技术制造，其大小一般只有几毫米到数厘米，非常便携和易于安装。它还具有高精度、高灵敏度、快速响应和稳定性好等优点。

微小气体质量流量计的应用范围很广，包括化学工业、医疗设备、生物技术、环境监测等领域。比如，在医疗设备中，它可以用于呼吸机、麻醉机等设备中，实现对患者呼吸情况的监测和控制。

总之，微小气体质量流量计是一种高精度、高灵敏度的气体流量计，其应用领域非常广泛，未来还有很大的发展潜力。